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A camada de óxido térmico (dióxido de silício, Si
O2) é formado na superfície da wafer de silício a uma temperatura elevada na presença de um oxidante Esse processo é comumente referido como um processo de oxidação térmica. O filme fino de óxido térmico Si
O2 é normalmente cultivado em um forno de tubo horizontal, na faixa de temperatura de 900 ° C ~ 1200 ° C. As bolachas e substratos de óxido térmico de óxido térmico de silício/dióxido de silício (Si/Si
O2) são amplamente utilizados para substratos FET, análise de microscopia de superfície, medições de elipsometria e estudos de raios-X. O MSE Supplies também oferece filme de grafeno de monocamada no substrato Si/Si
O2. (10mm x 10 mm, 1 polegada x 1 polegada e mais .) Podemos oferecer uma variedade de opções para personalização. Entre em contato conosco em [email protected] para obter seus requisitos de produtos personalizados. O MSE Supplies oferece as seguintes opções : Tipo de bolacha de silício : N ou P Tipo de silício DOPING : espessura do Si
O2 não dopada, dopada em P ou dopada B : 300 ~ 500 nm.
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